发布单位:苏州晶淼半导体设备有限公司 发布时间:2022-8-6
化学清洗槽(也叫酸槽/化学槽),主要有hf,,h2so4,h2o2,hcl等酸碱液体按一定比例配置,目的是为了去除杂质,去离子,去原子,后还有di清洗。ipa是,就是工业酒精,是用来clean机台或parts的,是为了减少partical的。
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晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨,抛光,切片后,形成硅晶圆片;晶圆片生产的过程中,需对晶圆片的边缘进行腐蚀,但现有的腐蚀装置,腐蚀效率仍有待进一步提高;现需要一种晶圆片边缘腐蚀机,可提高腐蚀效率,进而提高生产效率。