利用电-光子转换效应制成的各种功能器件。光电子器件的设计原理是依据外场对导波光传播方式的改变，它也有别于早期人们袭用的光电器件。光电子器件是光电子技术的关键和部件，是现代光电技术与微电子技术的研究领域，是信息技术的重要组成部分。未来，随着通信技术升级，目前分工与制造中心不断向转移，以及---的大力扶持，行业整体技术---能力将得到进一步增强，产业结构将不断调整，有助于光电子器件制造行业的健康、持续发展。

集成电路是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起，制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上，然后封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的微型结构；其中所有元件在结构上已组成一个整体，使电子元件向着微小型化、低功耗、智能化和高---性方面迈进了一大步。

单片波清洗机在配合超稀化学液体 (ppm级别)使用后，可用于微小颗粒（小于65nm）去除以及化学氧化层控制，以替代传统‘nano spray’清洗技术，在薄膜沉积后的清洗领域有广泛的应用前景。盛美半导体的---王晖介绍称 “经过不断优化，该清洗机已于近日通过了韩国集成电路大厂的大生产线工艺评估，有望成为下一代微小颗粒清洗的主流设备”。