晶圆腐蚀-苏州晶圆-苏州晶淼半导体

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    2022-7-15

王经理
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汽车/工程机械/机车工业:

需要清洗的产品:发动机部件(如缸体、缸套、阀体、活塞、活塞环、气门等)、点火栓、制动泵、转向机、减振器、各类精密零部件等

污染源:油、润滑油、防腐剂、机械切屑、塑料残留物、研磨磨料、石墨、焦油、尘垢、碳

使用清洗剂:有机性洗涤剂;轻油(洗油等);碱性洗涤剂,酸性洗涤剂,中性洗涤剂;纯水


面板显示使用的是玻璃基板作为电路的载体,所有的膜质以及对膜质光刻后的图形都是依附在玻璃基板上。在每次成膜或者光刻前都要对玻璃基板表面进行深入清洁,虽然玻璃基板是在无尘车间里运行,晶圆腐蚀机,但是,晶圆腐蚀,还是会存在各种异物(particle):无机类异物和有机类异物,所以,清洗设备的较大作用就是去除表面的异物,晶圆酸洗设备,来提升产品的整体良率。




超声波清洗 :

超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,苏州晶圆,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。目前所用的超声波清洗机中,空化作用和直进流作用应用得更多。


按频率波可以分为三种,即次声波、声波、超声波。次声波的频率为20hz以下;声波的频率为20hz~20khz;超声波的频率则为20khz以上。其中的次声波和超声波一般人耳是听不到的。超声波由于频率高、波长短,因而传播的方向性好、穿透能力强,这也就是设计制作超声波清洗机的原因。


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