硅片腐蚀台-硅片-苏州晶淼半导体

硅片刻蚀台

苏州晶淼作为国内的湿法制程设备制造企业之一，一直全心服务于微电子集成电路、半导体材料、半导体照明led、光伏太阳能、lcd-tft 液晶等行业领域。通过多年清洗设备的研发生产经验及周到快捷的售后服务赢得了越来越多的客户---。

多年来，苏州晶淼一直---于为半导体材料、微电子集电路、led、有机发光二级管、三极管、电力电子器件、分立器件、mems传感器、光伏太阳能、等行业域提供完备工序的湿法清洗、腐蚀制程设备。

离子刻蚀设备在光刻胶涂层和光刻显---，将光刻胶用作掩模，通过物理溅射和化学作用去除不需要的金属，从而得到与光刻胶图案相同的线条形状。目前，硅片腐蚀设备，等离子刻蚀设备是主流的干法刻蚀方法，由于刻蚀速度快、定向性好，正在逐步取代湿法刻蚀。影响氮化硅侧壁刻蚀角度的参数：在半导体集成电路中，真空等离子刻蚀设备的刻蚀工艺不仅可以刻蚀表面层的光刻胶，还可以刻蚀下层的氮化硅层。