tmah腐蚀设备- 苏州晶淼半导体 -无锡tmah

(2)不供油 如果是不供油，则要检查油泵是否在正常工作，打开回油管，查看回油管内是否有正常的油回出，无锡tmah，如果有油回出则可判定是供油电磁阀没有工作。解决方法是用万用表量一下电磁阀是否损坏(一般为24ω左右)，如果电磁阀损坏则更换电磁阀；如没有损坏，就需要检查它是否接收到电压信号；如没有电压信号，tmah清洗机，则可判定为电路故障，tmah腐蚀设备，这时要从温控到压力开关、流量阀、油位开关逐一检查，哪里不通即可判定故障所在位置，修复即可解决。如无正常回油则可判定是油泵损坏，更换或修复即可

普通的清洗方法一般不能达到孔内，而孔内芯料的反应生成物及其他污染物会在后序工艺中会产生重复污染。无论是采用清洗液清洗都容易引入新的污染源，然而利用超声波清洗技术却可以实现无重复污染，而且能深入mcp孔内的效果。对不同材料及孔径的mcp应采用频率、声强可调的超声波进行实验，以确定实际工艺参数。对孔径6~12μmmcp的清洗，当媒液为水和---时，可采用空化阈约1/3 w/cm2，声强10~20 w/cm2，频率20~120 khz的超声波进行清洗。表1是同一段不同板号的mcp采用不同频率超声波清洗后表观及电性能测试结果。由检测结果可见，对1μm以下的小颗粒污染物，应选用频率40 khz以上的超声波进行清洗。