碱腐蚀-苏州晶淼半导体-烟台碱

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    2023-4-10

王经理
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法蚀刻仍被广泛地应用于当今集成电路制造领域,因其工艺可准确控制薄膜的去除量以及工艺过程中对原材料的损耗较低,烟台碱,在今后很长一段时间内其---将无法被取代.随着工艺尺寸的不断缩小,器件---性变得越来越重要,但湿法蚀刻均匀性却逐渐成为提高器件---性的一个瓶颈.集成电路工艺技术正进一步向大尺寸晶圆和小尺寸单个器件的方向发展。




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