集中供液系统-苏州晶淼半导体-徐州系统

超声清洗：

     对不同材料及孔径的mcp应采用频率、声强可调的超声波进行实验,以确定实际工艺参数。对孔径6~12μmmcp的清洗,当媒液为水和---时,可采用空化阈约1/3w/cm2,声强10~20 w/cm2,频率20~120 khz的超声波进行清洗。

阀座加工后污物的特点

阀座经机加工后液压集成块的深孔里面的毛刺，---是那些尚未脱落的毛刺，用普通的吹、洗等方法难于处理。曾经尝试使用火焰的方法将深孔里的毛刺烧掉后再用油和高压风冲刷清洗处理，因毛刺的热容量较小，遇火焰很容易融化脱落而被热风带出，由于集成块的热容量大，仅使局部---不会造成损坏。也有尝试进行酸洗的，而后再用高压液体冲洗。这二种办法均不理想。

阀座超声波清洗机其实在加工像阀体这样的工件，针对切削油较多，毛刺多而不易脱落的特点，可以进行以下的清洗配合：高压喷淋+旋转+超声波,同时也是针对阀座本身加工中产生的油和屑---的去除办法。

当然，很多人说用酸洗又快又好。殊不知，酸是很容易将毛刺腐蚀，在腐蚀毛刺的同时也腐蚀着工件本身；另，对环境更是一种致命的打击。

     特殊的电应用和光应用中有不断增长的提性能的需求，这要求---地改进硅以外的许多半导体的制造技术。

     这些材料的例子包括锗，因为它有高于si的电子迁移率，有可能与高-k栅介质集成；加工应力沟道si mosfet所需的sige；以及碳化硅sic，其带隙很宽。除了zui---的gaas外，像gan、inas、insb、zno等等一些ⅲ-ⅴ族半导体也越来越引起人们的兴趣。