led清洗设备-晶淼半导体 清洗机-盐城led

led芯片清洗机

1.清洗对象：led芯片，led晶片

2.清洗规格：2-4英寸   4-2篮/批； 6-8英寸   2-1篮/批

3.工艺说明:手动方式实现放件取件，槽体间传送件。

4.设备形式: 室内放置型。

5.腐蚀工艺自动补药液---了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性；

6.工艺参数（温度，时间，diw水清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可设定；

7.机台前方为清洗工作区域，机台后上方为电器和气路布置区域，后下方为液路布置区域。

8.di槽配有在线式水质检测装置；

9.配有分体式废液回收系统；

10.药液供给及补液方式: 分体式cds自动供液系统

现有技术中，待清洗的晶圆板固定在晶圆清洗机的清洗台上，盐城led，通过位于清洗台上方的喷水头对清洗台上的晶圆板进行冲洗，清洗范围有限，不能对晶圆板的反面进行清洗，需要反向再次放置晶圆板，使得清洗效率低一种用于晶圆加工的晶圆清洗机，包括箱壳(1)和位于箱壳(1)顶部的翻盖(2)，其特征在于，所述箱壳(1)的内腔前后两侧壁均转动连接有直杆(3)，两个所述直杆(3)之间固定连接有晶圆固定件。