晶淼半导体-晶圆清洗-镇江晶圆

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    2023-5-17

王经理
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超声波清洗机橡胶工业:

需要清洗的产品:手套、带子、白轮胎、橡胶制品、橡胶成型金属模/陶瓷模等

污染源:指纹、尘垢、防腐剂、油墨、染料、塑料残留物、橡胶残渣

使用清洗剂:碱性洗涤剂、酸性洗涤剂、中性洗涤剂;纯水


清洗设备是指可用于替代人工来清洁工件表面油、蜡、尘、氧化层等污渍与污迹的机械设备。目前市面上所见到清洗设备为:超声波清洗、高压喷淋清洗、激光清洗、蒸汽清洗、干冰清洗及复合型清洗设备等;




汽车/工程机械/机车工业:

需要清洗的产品:发动机部件(如缸体、缸套、阀体、活塞、活塞环、气门等)、点火栓、制动泵、转向机、减振器、各类精密零部件等

污染源:油、润滑油、防腐剂、机械切屑、塑料残留物、研磨磨料、石墨、焦油、尘垢、碳

使用清洗剂:有机性洗涤剂;轻油(洗油等);碱性洗涤剂,酸性洗涤剂,中性洗涤剂;纯水


湿法刻蚀设备

是一种刻蚀方法,晶圆清洗,主要在较为平整的膜面上刻出绒面,从而增加光程,晶圆腐蚀台,减少光的反射,刻蚀可用稀释的---等湿法刻蚀是将刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术。简单来说,就是中学化学课中化学溶液腐蚀的概念,它是一种纯化学刻蚀,具有优良的选择性,镇江晶圆,刻蚀完当前薄膜就会停止,而不会损坏下面一层其他材料的薄膜。由于所有的半导体湿法刻蚀都具有各向同性,所以无论是氧化层还是金属层的刻蚀,横向刻蚀的宽度都接近于垂直刻蚀的---。这样一来,上层光刻胶的图案与下层材料上被刻蚀出的图案就会存在一定的偏差,也就无法高地完成图形转移的工作,因此随着特征尺寸的减小,在图形转移过程中基本不再使用。目前,湿法刻蚀一般被用于工艺流程前面的晶圆片准备、清洗等不涉及图形的环节,而在图形转移中干法刻蚀已占据------。




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